咨询热线:
18816588806
CN
EN
首页
关于VLT
公司简介
企业文化
组织架构
真空镀膜设备
车灯保护膜重合镀膜设备
真空热蒸发镀膜设备
光学镀膜机
多弧离子真空镀膜机
等离子表面处理设备
磁控溅射镀膜设备
连续式真空镀膜机
镀膜机部件展示
公司实力
成功案例
工厂展示
新闻资讯
联系我们
Prev
Next
1
2
3
4
当前位置:
首页
>
真空镀膜设备
>
光学镀膜机
真空镀膜设备
科技创新为动力 专业服务为目标
真空镀膜设备
车灯保护膜重合镀膜设备
真空热蒸发镀膜设备
光学镀膜机
多弧离子真空镀膜机
等离子表面处理设备
磁控溅射镀膜设备
连续式真空镀膜机
镀膜机部件展示
热门新闻
· 真空镀膜机:温湿度数据记录频率的重要性
· 关于真空镀膜设备的总功率参数详解
· 聊聊真空镀膜机炉体真空度的重要性
· 浅谈真空镀膜设备的沉积方式
· 真空镀膜机:功能特色详解
· 解析真空镀膜设备的加热方式
光学镀膜机
观察光学镀膜机靶阴极电弧的燃烧情况,每当电弧熄灭前,能发现电弧弧斑比较粗糙。有时甚至出现堆团状弧斑。熄灭后观察靶面已发红,靶表面温度很高。粗糙弧斑的出现,使弧电流较集中于靶面一点,导致了弧斑下靶面斑点电流过于集中,使弧斑下的靶面温度很高而产生大量的热电子发射。
靶面局部大量的热电子发射的结果,一方面中和了大量的空间电荷,使阴极表面上的电场成为减速场,甚至导致阴极表面上的电场等于零。另一方面,大量的热电子发射对阴极表面产生相当大的冷却作用。结果既没有空间电荷产生的很大电场来维持表面发射,也不具备很高表面温度来产生热电子发射,导致电弧的熄灭。
所以在光学镀膜机多弧靶源的设计中,应注意给阴极靶以充分的冷却,尽量采用直接水冷,间接水冷时,阴极座等相邻部件应选用导热性能良好的材料(如铜、铝等)。
上一篇:
真空热蒸发镀膜设备
下一篇:
光学镀膜机
相关产品
Related Products
光学镀膜机
光学镀膜机