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真空镀膜设备

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多弧离子真空镀膜机


  真空镀膜机中的真空管道、静态密封零部件(法兰、密封圈等)的结构形式,应符合相关规定。
  在低真空和高真空管道上及真空镀膜室上应安装真空测量规管,分别测量各部位的真空度。当发现电场对测量造成干扰时,应在测量口处安装电场屏蔽装置。
  如果设备使用的主泵为扩散泵时,应在泵的进气口一侧装设有油蒸捕集阱。
  设备的镀膜室应设有观察窗,应设有挡板装置。观察窗应能观察到沉积源的情况以及其他关键部位。