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真空镀膜设备

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多弧离子真空镀膜机


  真空状态是支持真空镀膜机运作的环境,需要高真空度的设备,通常我们需要到高真空度,抽气系统的作用是很重要的,但除了抽气系统外,在真空镀膜设备运行的过程中,还有一点就是,工件的除气。有些工件它本身内部存在着,很多的气体、水分等,这些物质会随着设备加热时,被排放到真空室中,降低了真空度,有些气体带有毒性成分,直接损害到真空室内部机械结构,造成设备不能正常运作。
  另外,正在镀膜过程中,由于工件内气体加热膨胀,容易使已经镀上的膜层裂开,当然这个情况出现的机率视工件本身物理性质有关,像塑料等容易膨胀的,机率就比较高,像金属等硬质的,机率就比较低,但也不能忽视,因此工件的除气是很重要的。