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概述真空腔体在真空镀膜机中的作用

       真空腔体是真空镀膜机中的核心组件之一,它在镀膜过程中扮演着重要的作用。以下是真空腔体在真空镀膜机中的几个主要作用:
       1、创建高真空环境:真空腔体提供了一个密封的空间,通过抽取空腔内的气体,将腔体内部的压力降低到较低的水平,从而创建高真空环境。高真空环境是进行薄膜沉积的基础,可以避免气体干扰和杂质的存在,保障薄膜的质量和均匀性。
       2、隔绝外界干扰:其密封性能能够有效隔绝外界空气、湿气和杂质进入,从而避免这些干扰物质对镀膜过程和薄膜质量的影响。保持良好的真空度可以保障薄膜的纯净性和稳定性。
       3、提供支撑和固定:它通常具有合适的结构和固定装置,用于支撑和固定待镀物体。这有利于保障待镀物体在镀膜过程中的稳定性和均匀性,以及保障薄膜在物体表面的均匀沉积。
       4、安装和连接其他组件:它通常包括安装和连接其他关键组件的接口和通道,如泵系统、镀膜源、监测和控制设备等。这些组件通过与真空腔体的连接,共同构成完整的真空镀膜机系统。
       5、提供温度控制:在一些应用中,它还可以提供温度控制功能,用于控制待镀物体或镀膜源的温度。通过调节温度,可以影响薄膜的生长速率、晶粒尺寸和结构,以满足不同的镀膜要求。
2023/05/24 08:40:02 1072 次