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了解下真空镀膜机的真空室形变的检测

  为尽量减小真空镀膜机真空室形变带来的影响,我们将导轨、丝杆等传动件固定于一个刚性的中间层上,其与真空室底壁之间采用点、线、面活性支撑,以吸收和隔离形变,并设置形变补偿调节机构,在系统抽真空前,参照有限元计算提供的理论数据预设适当的补偿量,以使其在真空状态下到平衡。而这样的真空设计也使得现在的真空镀膜机就能够让镀膜在真空环境下正常进行,防止外界因素的影响。
  而为了验证有限元计算的结果,对真空镀膜机的真空室的形变和补偿进行了测试。先将四只千分表定位在工作台安装基点的真空壁外侧,当真空室由大气抽到真空时,记录各千分表的变化量,经归一化处理后为用激光自准直仪调整形变补偿。由水平调整的自准直仪发出一束激光穿过真空室的玻璃窗照射固定于工作台上的反射镜,在大气环境下调整形变补偿调节机构,使反射光束进入自准直仪接收视场,记录两维角度偏差。这些数据之后需要对其进行分析处理,得到测试结果。
2021/10/28 14:09:43 84 次