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了解下真空镀膜机的电阻蒸发方式

  真空镀膜机的蒸发系统主要指成膜装置部分,其成膜装置很多,有电阻加热、电子枪蒸发、磁控溅射、射频溅射、离子镀等多种方式,鄙人就电阻加热和电子枪蒸发两种方式作介绍,因为此两种方式我应用的比较多。电阻蒸发根据其结构和工作原理是目前应用较多,较广的蒸发方式,也是应用时间较长的蒸发方式。
  真空镀膜机的工作方式是,将钨片做成船状,然后安装在两个电极中间,在钨舟中加上药材,再缓缓给电极通电,电流通过钨舟,钨舟通电发热,这些低电压,大电流使高熔点的钨舟产生热量,再热传导给镀膜材料,当钨舟的热量高于镀膜材料熔点的时候,材料就升华或者蒸发了。
  此方法由于操作方便,结构简单,成本低廉,故被真空镀膜机应用,但是其蒸发出来的薄膜由于致密性不佳,加上很多材料不能采用这种方式蒸镀,所以其有局限性。钨舟镀膜材料的时候,材料的熔点要小于钨舟的熔点,否则就没有办法进行。
2021/09/17 10:41:08 96 次