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真空镀膜掉膜应如何解决

       空镀膜会遇到掉膜的情况,产生这样情况的原因在于哪里,如何去解决这些问题呢?
       1、表面清洁度
       产品表面洁净度不够,可以考虑离子源清洗时氩气放大、时间长点。
       2、清洗过程中的问题
       镀前清洗不到位,或更换了清洗液。
       3、工艺的问题
       工艺参数是否有变动,在镀膜时间和电流上做适当调整。
       4、靶材的问题
       钛靶是否中毒,检查和更换。
       5、真空腔是否漏气
       进行次捡漏。
       6、产品表面氧化
       氧化的原因很多,可以自行判断处理。
2021/08/19 16:19:01 109 次