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真空镀膜掉膜应如何解决
空镀膜会遇到掉膜的情况,产生这样情况的原因在于哪里,如何去解决这些问题呢?
1、表面清洁度
产品表面洁净度不够,可以考虑离子源清洗时氩气放大、时间长点。
2、清洗过程中的问题
镀前清洗不到位,或更换了清洗液。
3、工艺的问题
工艺参数是否有变动,在镀膜时间和电流上做适当调整。
4、靶材的问题
钛靶是否中毒,检查和更换。
5、真空腔是否漏气
进行次捡漏。
6、产品表面氧化
氧化的原因很多,可以自行判断处理。
2021/08/19 16:19:01
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